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激光干涉儀的校準與精度驗證?以及功能及調整

點(diǎn)擊次數:1499  更新時(shí)間:2020-02-11
   激光干涉儀,即是一種以激光波長(cháng)為已知長(cháng)度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長(cháng)度測量的工具。今天,以下是關(guān)于它的校準與精度驗證‍以及功能及調整敘述。
  激光干涉儀的校準與精度驗證‍如下:
  激光干涉儀在購置投入使用前應進(jìn)行關(guān)鍵性能的驗證。且隨著(zhù)使用年限的增加,激光干涉儀(包括環(huán)境補償系統)的性能可能會(huì )因老化或使用不當出現衰退,對測量精度造成影響。因此需要定期對激光干涉儀測量系統的關(guān)鍵性能參數進(jìn)行校準,以確保在精密測量應用中獲得準確的數據結果。
  根據國家計量檢定規程的要求,需要對激光干涉儀激光頻率、測距誤差、測角誤差、環(huán)境補償傳感器進(jìn)行定期校準。
  激光干涉儀的功能及調整如下:
  1、可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表,滿(mǎn)足機床誤差修正的要求。
  2、具有實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度等幾何量的檢測功能??梢詸z測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備運動(dòng)導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等;同時(shí)也能檢測運動(dòng)導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線(xiàn)度;并可以校準機床的回轉軸。
  3、內置國內外通用的標準??梢罁鞣N不同的機床標準分析處理數據,并可打印相應的曲線(xiàn)圖和數據報告。
  4、具有動(dòng)態(tài)測量及測量振幅和頻率分析的功能,可進(jìn)行機床振動(dòng)測量與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅動(dòng)系統的響應特性分析,導軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。
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