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激光干涉儀的工作原理

點(diǎn)擊次數:1891  更新時(shí)間:2018-07-16
    高精度激光干涉儀具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

    多普勒效應(Doppler Effect: 任何形式的波傳播,都是由于波源、接收器、傳播介質(zhì)或中間反射器的運動(dòng),會(huì )使頻率發(fā)生變化的現象。這種因多普勒效應所引起的頻率變化稱(chēng)為多普勒偏移或頻移(Doppler Shift, 其頻移大小與介質(zhì)、波源和觀(guān)察物的運動(dòng)有關(guān)。XL 激光頭射出的頻率為 f0, 經(jīng)過(guò)反射鏡反射回來(lái)到激光頭內的探測器,當反射鏡不動(dòng)時(shí),其反射波頻率 fr= f0。當反射鏡以 v=dx/ dt的速度沿線(xiàn)性軸遠離或者靠近激光頭時(shí),因為光程增加或減少了 2vt,反射波 fr的數值會(huì )減少或增加 2v /λ0,λ0為激光波長(cháng)。

    通常將反射鏡設定為移動(dòng)光學(xué)部件,將干涉鏡設定為靜止部件。二者可以反過(guò)來(lái),但是大測量距離將減少一半。因此,在超過(guò) 40m 行程的長(cháng)軸上測量時(shí),必須線(xiàn)性干涉鏡靜止不動(dòng),而另一個(gè)反射鏡移動(dòng)。而對行程小于 40m 的軸進(jìn)行測量時(shí),為了方便測量,可以線(xiàn)性干涉鏡移動(dòng),也可以反射鏡移動(dòng)。

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